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卧式石英管舟清洗机( Horizontal Quartz Tube/Boat Cleaner)
适用场景:用DIW、酸液等药液清洗8寸/12寸等多种尺寸的石英石英舟/石英管
设备特点:
1、机械手臂负载:≤50Kg (机械手臂最大负载:50 kg)
2、清洗对象:
炉管最大尺寸:ø 510mm X L 1520mm
石英舟最大尺寸:ø 345mm X L 1385mm
3、清洗能力:石英管/石英舟 1只/次/腔室
4、设备构成:由卧式酸槽、卧式水槽、机械臂(吊钩)等主要机构组成
5、设备安全:排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能:自动补液(液位传感器控制)、自动槽盖、药液循环过滤、炉管滚动、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe,操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸:L 2830mm X W 2540mm X H 3400mm
设备特点:
1、机械手臂负载:≤50Kg (机械手臂最大负载:50 kg)
2、清洗对象:
炉管最大尺寸:ø 510mm X L 1520mm
石英舟最大尺寸:ø 345mm X L 1385mm
3、清洗能力:石英管/石英舟 1只/次/腔室
4、设备构成:由卧式酸槽、卧式水槽、机械臂(吊钩)等主要机构组成
5、设备安全:排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能:自动补液(液位传感器控制)、自动槽盖、药液循环过滤、炉管滚动、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe,操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸:L 2830mm X W 2540mm X H 3400mm
关键词:
卧式石英管舟清洗机( Horizontal Quartz Tube/Boat Cleaner)
所属分类:
附属湿法清洗设备
卧式清洗机
产品附件:
咨询热线:
卧式石英管舟清洗机( Horizontal Quartz Tube/Boat Cleaner)
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